電子級(jí)三氯氧磷競(jìng)爭(zhēng)格局與驅(qū)動(dòng)因素
電子級(jí)三氯氧磷(6N、7N),又稱高純?nèi)妊趿祝饕糜诩呻娐?IC)生產(chǎn)和晶硅太陽(yáng)能電池精細(xì)加工中PN結(jié)制作的摻雜劑,作為五價(jià)元素磷(P)擴(kuò)散源。磷源有多種,氣體源主要是磷烷(PH3),固體源主要是五氧化二磷(P2O5),液體源主要是三氯氧磷(POCl3)。它的純度對(duì)集成電路(IC)和多晶硅太陽(yáng)能電池的成品率、電性......

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