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前道量檢測設(shè)備市場規(guī)模較大且保持著穩(wěn)定增長

1、前道量檢測設(shè)備行業(yè)概述

（1）前道量檢測設(shè)備是芯片制造產(chǎn)線中不可或缺的核心設(shè)備

前道量檢測設(shè)備以光、電子束等介質(zhì)作為主要工具，針對光刻機、刻蝕機、薄膜沉積設(shè)備等工藝設(shè)備的加工成果，進(jìn)行關(guān)鍵指標(biāo)的量測或潛在缺陷的檢測，其使用場景覆蓋擴散、薄膜沉積、光刻、刻蝕、離子注入、 CMP、清洗等芯片前道生產(chǎn)的幾乎全部工序，具體情況如下：

資料來源：普華有策公開資料整理

區(qū)別于光刻機、刻蝕機、薄膜沉積設(shè)備等工藝設(shè)備，前道量檢測設(shè)備屬于“過程控制設(shè)備”，本身并不參與制造，但發(fā)揮著“指引”制造活動的作用：

一方面，良率系芯片制造的“生命線”，芯片產(chǎn)線須依賴前道量檢測設(shè)備檢測出產(chǎn)品的各類缺陷，并依此發(fā)現(xiàn)各工藝階段的潛在問題，及時對工藝路線、設(shè)備搭配、產(chǎn)線參數(shù)等進(jìn)行調(diào)整，進(jìn)而提升芯片產(chǎn)線整體的產(chǎn)品良率。隨著下游芯片需求的不斷發(fā)展，芯片制造的工藝步驟亦在不斷增多，工藝步驟的增多亦會導(dǎo)致產(chǎn)線的整體良率更加難以把控，從而導(dǎo)致產(chǎn)線對前道量檢測設(shè)備的依賴不斷提高。

另一方面，在進(jìn)行制造工藝改進(jìn)或工藝節(jié)點提升時，芯片產(chǎn)線亦須通過前道量檢測設(shè)備獲取精確的數(shù)據(jù)支持，以評判工藝方案的優(yōu)劣，或指導(dǎo)相應(yīng)的研發(fā)探索。例如，在多重曝光技術(shù)中，正是依靠了“套刻精度量測設(shè)備”對光刻工序后兩層相鄰光刻膠的“偏移量”的測定，才能驗證多張掩膜版的相對位置是否精確，從而驗證相關(guān)工藝是否可行，進(jìn)而決定該技術(shù)的商業(yè)化價值。若無法得知精確數(shù)據(jù)，則多重曝光技術(shù)將無法順利產(chǎn)業(yè)化。

因此，前道量檢測設(shè)備是芯片制造產(chǎn)線中不可或缺的核心設(shè)備，前道量檢測設(shè)備的技術(shù)水平，直接影響著芯片品質(zhì)，并制約著芯片工藝的技術(shù)提升。

（2）前道量檢測設(shè)備涉及多學(xué)科領(lǐng)域，結(jié)構(gòu)精密復(fù)雜、制造難度大

從結(jié)構(gòu)上看，前道量檢測設(shè)備主要由傳輸單元、光路處理單元、信號單元、量檢測單元等系統(tǒng)組成，包含成千上萬個具體模塊，每個具體模塊的突破均需要企業(yè)長期的技術(shù)積淀。

從功能上看，前道量檢測設(shè)備作為半導(dǎo)體行業(yè)的高精密儀器，需完成納米級別的測量、檢測工作，是半導(dǎo)體前道生產(chǎn)的“眼睛”和“醫(yī)生”。前道量檢測設(shè)備的功能屬性決定了其必須具備“高精密度”的特質(zhì)。

從技術(shù)上看，前道量檢測設(shè)備涉及高真空腔傳輸技術(shù)、光譜檢測技術(shù)、快速運算技術(shù)、高精度信號檢測技術(shù)等多項技術(shù)的攻關(guān)，是光學(xué)、物理學(xué)、機械學(xué)、算法等多領(lǐng)域?qū)W科的技術(shù)結(jié)晶，技術(shù)壁壘較高，制造難度較大。

（3）前道量檢測設(shè)備種類繁多，在自研突破的同時亦須兼顧產(chǎn)線的安全穩(wěn)定生產(chǎn)

前道量檢測設(shè)備是應(yīng)用于前道過程控制的一系列設(shè)備的統(tǒng)稱，不同于光刻機、刻蝕機、薄膜沉積設(shè)備等工藝設(shè)備，前道量檢測設(shè)備的種類繁多，包括十余種大類和上百種型號，分別用于薄膜厚度、關(guān)鍵尺寸、套刻精度、刻蝕深度、表面形貌等關(guān)鍵指標(biāo)的測量，以及顆粒沾污、圖案缺陷、微觀缺陷、機械劃傷等一系列潛在缺陷的檢測。

不同品類的前道量檢測設(shè)備功能不同，其技術(shù)原理亦各有特點，每個細(xì)分領(lǐng)域均需較為深厚的技術(shù)積累和持續(xù)研發(fā)攻關(guān)，需投入較大精力開展自研。而對于產(chǎn)線而言，由于各道連續(xù)工序存在“木桶效應(yīng)”，任何一個細(xì)分領(lǐng)域的量檢測設(shè)備的欠缺，均會導(dǎo)致產(chǎn)線整體生產(chǎn)成果無法有效控制，進(jìn)而對產(chǎn)線良率造成不利影響。

在上述背景下，一方面，需要國內(nèi)企業(yè)不斷在各個細(xì)分領(lǐng)域持續(xù)攻關(guān)，提高各類前道量檢測設(shè)備能力；另一方面，也需要重視修復(fù)設(shè)備市場，通過修復(fù)設(shè)備市場的發(fā)展，持續(xù)為產(chǎn)線提供多品類的修復(fù)設(shè)備供應(yīng)，維持產(chǎn)線的穩(wěn)定運轉(zhuǎn)，進(jìn)而確保芯片制造的安全生產(chǎn)。

2、前道量檢測設(shè)備行業(yè)規(guī)模情況

（1）前道量檢測設(shè)備市場規(guī)模較大且保持著穩(wěn)定增長

前道量檢測設(shè)備作為半導(dǎo)體設(shè)備市場的重要組成，其市場規(guī)模在半導(dǎo)體設(shè)備中僅次于薄膜沉積設(shè)備、光刻機、刻蝕設(shè)備。

近年來，全球前道量檢測設(shè)備市場呈現(xiàn)穩(wěn)步增長。2019年至 2023年，全球前道量檢測設(shè)備市場規(guī)模由51.87 億美元增長至125.3億美元。

（2）少數(shù)國際龍頭企業(yè)主導(dǎo)全球前道量檢測設(shè)備供應(yīng)市場

前道量檢測修復(fù)設(shè)備的市場格局，主要呈現(xiàn)國際原廠修復(fù)部門占據(jù)大部分市場份額，卓?？萍嫉鹊谌叫迯?fù)廠商展開與原廠修復(fù)部門的競爭，逐步提升自身市占率的情況。

與光刻機市場相似，前道量檢測設(shè)備的技術(shù)壁壘高、制造難度大，需要企業(yè)長時間的投入及技術(shù)積淀，供應(yīng)市場呈現(xiàn)高度集中的格局。目前，全球前道量檢測設(shè)備供應(yīng)市場由 KLA、 AMAT、Hitachi 等少數(shù)國際龍頭企業(yè)主導(dǎo)，其總市場占有率超過七成。

為匹配摩爾定律下晶圓制造工藝的升級步伐，及時滿足全球領(lǐng)先的晶圓制造企業(yè)對新一代設(shè)備的需求，并保持引領(lǐng)市場的競爭力，在有限的資金、產(chǎn)能、人力下，國際龍頭企業(yè)一般會將更多精力投入研發(fā)生產(chǎn)先進(jìn)制程設(shè)備。而對于成熟制程設(shè)備市場，國際龍頭企業(yè)一般通過提供修復(fù)設(shè)備的方式，實現(xiàn)全方位的占據(jù)。

目前，國內(nèi)先進(jìn)制程的前道量檢測設(shè)備市場，主要被 KLA、 AMAT 等國際龍頭企業(yè)的新設(shè)備部門所占據(jù)，而成熟制程市場，主要被上述國際龍頭企業(yè)的修復(fù)部門所占據(jù)。

（3）我國前道量檢測設(shè)備行業(yè)處于發(fā)展初期

前道量檢測設(shè)備結(jié)構(gòu)精密復(fù)雜、制造難度大，而我國芯片產(chǎn)業(yè)起步又相對較晚，導(dǎo)致前道量檢測設(shè)備的產(chǎn)業(yè)發(fā)展一直呈現(xiàn)較低水平。前道量檢測設(shè)備行業(yè)仍屬于我國的產(chǎn)業(yè)優(yōu)勢相對較弱的領(lǐng)域，盡管國家多年來持續(xù)鼓勵半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)、國內(nèi)自研企業(yè)均在不斷鉆研突破，但受限于行業(yè)起步較晚等因素，短期內(nèi)預(yù)計仍無法滿足芯片穩(wěn)定生產(chǎn)的需求缺口，而作為“工業(yè)糧食”的芯片一旦欠缺，會直接影響諸多下游新興領(lǐng)域的發(fā)展。因此，為保障產(chǎn)線的芯片產(chǎn)量和生產(chǎn)安全，在鼓勵新設(shè)備自研的同時，應(yīng)兼顧修復(fù)設(shè)備市場，進(jìn)而保障芯片產(chǎn)線運行。

3、中外前道量檢測設(shè)備行業(yè)能力行業(yè)比較

全球前道量檢測設(shè)備市場中，以 KLA、 AMAT、 Hitachi 為代表的國際龍頭企業(yè)進(jìn)入市場時間較早、經(jīng)營規(guī)模較大、產(chǎn)品布局豐富，具備較強的技術(shù)實力和自主研發(fā)能力。

我國在半導(dǎo)體前道量檢測設(shè)備領(lǐng)域起步較晚，國內(nèi)企業(yè)還處于初步發(fā)展階段，雖然在部分細(xì)分領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了突破，但產(chǎn)品的成熟度還遠(yuǎn)遠(yuǎn)未能滿足下游的迫切需求。與國際巨頭 KLA、 AMAT、 Hitachi 相比，一方面，國內(nèi)企業(yè)整體技術(shù)水平存在一定差距，另一方面較多國內(nèi)企業(yè)的自研產(chǎn)品還處于客戶驗證等初級階段，商業(yè)化程度不高，距離大規(guī)模、批量化交付，還需要較長的時間。

更多行業(yè)資料請參考普華有策咨詢《2024-2030年前道量檢測設(shè)備行業(yè)市場調(diào)研及發(fā)展趨勢預(yù)測報告》，同時普華有策咨詢還提供市場專項調(diào)研項目、產(chǎn)業(yè)研究報告、產(chǎn)業(yè)鏈咨詢、項目可行性研究報告、專精特新小巨人認(rèn)證、市場占有率報告、十五五規(guī)劃、項目后評價報告、BP商業(yè)計劃書、產(chǎn)業(yè)圖譜、產(chǎn)業(yè)規(guī)劃、藍(lán)白皮書、國家級制造業(yè)單項冠軍企業(yè)認(rèn)證、IPO募投可研、IPO工作底稿咨詢等服務(wù)。

第一章前道量檢測設(shè)備行業(yè)相關(guān)概述

第一節(jié) 前道量檢測設(shè)備行業(yè)定義及分類

一、行業(yè)定義

二、行業(yè)特性及在國民經(jīng)濟(jì)中的地位及影響

第二節(jié) 前道量檢測設(shè)備行業(yè)特點及模式

一、前道量檢測設(shè)備行業(yè)發(fā)展特征

二、前道量檢測設(shè)備行業(yè)經(jīng)營模式

第三節(jié) 前道量檢測設(shè)備行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈分析

一、產(chǎn)業(yè)鏈結(jié)構(gòu)

二、前道量檢測設(shè)備行業(yè)主要上游2019-2023年供給規(guī)模分析

三、前道量檢測設(shè)備行業(yè)主要上游2019-2023年價格分析

四、前道量檢測設(shè)備行業(yè)主要上游2024-2030年發(fā)展趨勢分析

五、前道量檢測設(shè)備行業(yè)主要下游2019-2023年發(fā)展概況分析

六、前道量檢測設(shè)備行業(yè)主要下游2024-2030年發(fā)展趨勢分析

第二章前道量檢測設(shè)備行業(yè)全球發(fā)展分析

第一節(jié) 全球前道量檢測設(shè)備市場總體情況分析

一、全球前道量檢測設(shè)備行業(yè)的發(fā)展特點

二、全球前道量檢測設(shè)備市場結(jié)構(gòu)

三、全球前道量檢測設(shè)備行業(yè)市場規(guī)模分析

四、全球前道量檢測設(shè)備行業(yè)競爭格局

五、全球前道量檢測設(shè)備市場區(qū)域分布

第二節(jié) 全球主要國家（地區(qū)）市場分析

一、歐洲

1、歐洲前道量檢測設(shè)備行業(yè)市場規(guī)模

2、歐洲前道量檢測設(shè)備市場結(jié)構(gòu)

3、2024-2030年歐洲前道量檢測設(shè)備行業(yè)發(fā)展前景預(yù)測

二、北美

1、北美前道量檢測設(shè)備行業(yè)市場規(guī)模

2、北美前道量檢測設(shè)備市場結(jié)構(gòu)

3、2024-2030年北美前道量檢測設(shè)備行業(yè)發(fā)展前景預(yù)測

三、日韓

1、日韓前道量檢測設(shè)備行業(yè)市場規(guī)模

2、日韓前道量檢測設(shè)備市場結(jié)構(gòu)

3、2024-2030年日韓前道量檢測設(shè)備行業(yè)發(fā)展前景預(yù)測

四、其他

第三章《國民經(jīng)濟(jì)行業(yè)分類與代碼》中前道量檢測設(shè)備所屬行業(yè)2024-2030年規(guī)劃概述

第一節(jié) 2019-2023年所屬行業(yè)發(fā)展回顧

一、2019-2023年所屬行業(yè)運行情況

二、2019-2023年所屬行業(yè)發(fā)展特點

三、2019-2023年所屬行業(yè)發(fā)展成就

第二節(jié) 前道量檢測設(shè)備行業(yè)所屬行業(yè)2024-2030年規(guī)劃解讀

一、2024-2030年規(guī)劃的總體戰(zhàn)略布局

二、2024-2030年規(guī)劃對經(jīng)濟(jì)發(fā)展的影響

三、2024-2030年規(guī)劃的主要目標(biāo)

第四章 2024-2030年行業(yè)發(fā)展環(huán)境分析

第一節(jié) 2024-2030年世界經(jīng)濟(jì)發(fā)展趨勢

第二節(jié) 2024-2030年我國經(jīng)濟(jì)面臨的形勢

第三節(jié) 2024-2030年我國對外經(jīng)濟(jì)貿(mào)易預(yù)測

第四節(jié)2024-2030年行業(yè)技術(shù)環(huán)境分析

一、行業(yè)相關(guān)技術(shù)

二、行業(yè)專利情況

1、中國前道量檢測設(shè)備專利申請

2、中國前道量檢測設(shè)備專利公開

3、中國前道量檢測設(shè)備熱門申請人

4、中國前道量檢測設(shè)備熱門技術(shù)

第五節(jié)2024-2030年行業(yè)社會環(huán)境分析

第五章普華有策對前道量檢測設(shè)備行業(yè)總體發(fā)展?fàn)顩r

第一節(jié) 前道量檢測設(shè)備行業(yè)特性分析

第二節(jié) 前道量檢測設(shè)備產(chǎn)業(yè)特征與行業(yè)重要性

第三節(jié) 2019-2023年前道量檢測設(shè)備行業(yè)發(fā)展分析

一、2019-2023年前道量檢測設(shè)備行業(yè)發(fā)展態(tài)勢分析

二、2019-2023年前道量檢測設(shè)備行業(yè)發(fā)展特點分析

三、2024-2030年區(qū)域產(chǎn)業(yè)布局與產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移

第四節(jié) 2019-2023年前道量檢測設(shè)備行業(yè)規(guī)模情況分析

一、行業(yè)單位規(guī)模情況分析

二、行業(yè)人員規(guī)模狀況分析

三、行業(yè)資產(chǎn)規(guī)模狀況分析

四、行業(yè)市場規(guī)模狀況分析

第五節(jié) 2019-2023年前道量檢測設(shè)備行業(yè)財務(wù)能力分析與2024-2030年預(yù)測

一、行業(yè)盈利能力分析與預(yù)測

二、行業(yè)償債能力分析與預(yù)測

三、行業(yè)營運能力分析與預(yù)測

四、行業(yè)發(fā)展能力分析與預(yù)測

第六章 POLICY對2024-2030年我國前道量檢測設(shè)備市場供需形勢分析

第一節(jié) 我國前道量檢測設(shè)備市場供需分析

一、2019-2023年我國前道量檢測設(shè)備行業(yè)供給情況

二、2019-2023年我國前道量檢測設(shè)備行業(yè)需求情況

1、前道量檢測設(shè)備行業(yè)需求市場

2、前道量檢測設(shè)備行業(yè)客戶結(jié)構(gòu)

3、前道量檢測設(shè)備行業(yè)區(qū)域需求結(jié)構(gòu)

三、2019-2023年我國前道量檢測設(shè)備行業(yè)供需平衡分析

第二節(jié) 前道量檢測設(shè)備產(chǎn)品市場應(yīng)用及需求預(yù)測

一、前道量檢測設(shè)備產(chǎn)品應(yīng)用市場總體需求分析

1、前道量檢測設(shè)備產(chǎn)品應(yīng)用市場需求特征

2、前道量檢測設(shè)備產(chǎn)品應(yīng)用市場需求總規(guī)模

二、2024-2030年前道量檢測設(shè)備行業(yè)領(lǐng)域需求量預(yù)測

1、2024-2030年前道量檢測設(shè)備行業(yè)領(lǐng)域需求產(chǎn)品功能預(yù)測

2、2024-2030年前道量檢測設(shè)備行業(yè)領(lǐng)域需求產(chǎn)品市場格局預(yù)測

第七章我國前道量檢測設(shè)備行業(yè)運行分析

第一節(jié) 我國前道量檢測設(shè)備行業(yè)發(fā)展?fàn)顩r分析

一、我國前道量檢測設(shè)備行業(yè)發(fā)展階段

二、我國前道量檢測設(shè)備行業(yè)發(fā)展總體概況

第二節(jié) 2019-2023年前道量檢測設(shè)備行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀

一、2019-2023年我國前道量檢測設(shè)備行業(yè)市場規(guī)模

二、2019-2023年我國前道量檢測設(shè)備行業(yè)發(fā)展分析

三、2019-2023年中國前道量檢測設(shè)備企業(yè)發(fā)展分析

第三節(jié) 2019-2023年前道量檢測設(shè)備市場情況分析

一、2019-2023年中國前道量檢測設(shè)備市場總體概況

二、2019-2023年中國前道量檢測設(shè)備市場發(fā)展分析

第四節(jié) 我國前道量檢測設(shè)備市場價格走勢分析

一、前道量檢測設(shè)備市場定價機制組成

二、前道量檢測設(shè)備市場價格影響因素

三、2019-2023年前道量檢測設(shè)備價格走勢分析

四、2024-2030年前道量檢測設(shè)備價格走勢預(yù)測

第八章 POLICY對中國前道量檢測設(shè)備市場規(guī)模分析

第一節(jié) 2019-2023年中國前道量檢測設(shè)備市場規(guī)模分析

第二節(jié) 2019-2023年我國前道量檢測設(shè)備區(qū)域結(jié)構(gòu)分析

第三節(jié) 2019-2023年中國前道量檢測設(shè)備區(qū)域市場規(guī)模

一、2019-2023年東北地區(qū)市場規(guī)模分析

二、2019-2023年華北地區(qū)市場規(guī)模分析

三、2019-2023年華東地區(qū)市場規(guī)模分析

四、2019-2023年華中地區(qū)市場規(guī)模分析

五、2019-2023年華南地區(qū)市場規(guī)模分析

六、2019-2023年西部地區(qū)市場規(guī)模分析

第四節(jié) 2024-2030年中國前道量檢測設(shè)備區(qū)域市場前景預(yù)測

一、2024-2030年東北地區(qū)市場前景預(yù)測

二、2024-2030年華北地區(qū)市場前景預(yù)測

三、2024-2030年華東地區(qū)市場前景預(yù)測

四、2024-2030年華中地區(qū)市場前景預(yù)測

五、2024-2030年華南地區(qū)市場前景預(yù)測

六、2024-2030年西部地區(qū)市場前景預(yù)測

第九章普●華●有●策對2024-2030年前道量檢測設(shè)備行業(yè)產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整分析

第一節(jié) 前道量檢測設(shè)備產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)分析

一、市場細(xì)分充分程度分析

二、下游應(yīng)用領(lǐng)域需求結(jié)構(gòu)占比

三、領(lǐng)先應(yīng)用領(lǐng)域的結(jié)構(gòu)分析（所有制結(jié)構(gòu)）

第二節(jié) 產(chǎn)業(yè)價值鏈條的結(jié)構(gòu)分析及產(chǎn)業(yè)鏈條的整體競爭優(yōu)勢分析

一、產(chǎn)業(yè)價值鏈條的構(gòu)成

二、產(chǎn)業(yè)鏈條的競爭優(yōu)勢與劣勢分析

第十章前道量檢測設(shè)備行業(yè)競爭力優(yōu)勢分析

第一節(jié) 前道量檢測設(shè)備行業(yè)競爭力優(yōu)勢分析

一、行業(yè)整體競爭力評價

二、行業(yè)競爭力評價結(jié)果分析

三、競爭優(yōu)勢評價及構(gòu)建建議

第二節(jié) 中國前道量檢測設(shè)備行業(yè)競爭力剖析

第三節(jié) 前道量檢測設(shè)備行業(yè)SWOT分析

一、前道量檢測設(shè)備行業(yè)優(yōu)勢分析

二、前道量檢測設(shè)備行業(yè)劣勢分析

三、前道量檢測設(shè)備行業(yè)機會分析

四、前道量檢測設(shè)備行業(yè)威脅分析

第十一章 2024-2030年前道量檢測設(shè)備行業(yè)市場競爭策略分析

第一節(jié) 行業(yè)總體市場競爭狀況分析

一、前道量檢測設(shè)備行業(yè)競爭結(jié)構(gòu)分析

1、現(xiàn)有企業(yè)間競爭

2、潛在進(jìn)入者分析

3、替代品威脅分析

4、供應(yīng)商議價能力

5、客戶議價能力

6、競爭結(jié)構(gòu)特點總結(jié)

二、前道量檢測設(shè)備行業(yè)企業(yè)間競爭格局分析

1、不同規(guī)模企業(yè)競爭格局

2、不同所有制企業(yè)競爭格局

3、不同區(qū)域企業(yè)競爭格局

三、前道量檢測設(shè)備行業(yè)集中度分析

1、市場集中度分析

2、企業(yè)集中度分析

3、區(qū)域集中度分析

第二節(jié) 中國前道量檢測設(shè)備行業(yè)競爭格局綜述

一、前道量檢測設(shè)備行業(yè)競爭概況

二、重點企業(yè)市場份額占比分析

三、前道量檢測設(shè)備行業(yè)主要企業(yè)競爭力分析

1、重點企業(yè)資產(chǎn)總計對比分析

2、重點企業(yè)從業(yè)人員對比分析

3、重點企業(yè)營業(yè)收入對比分析

4、重點企業(yè)利潤總額對比分析

5、重點企業(yè)負(fù)債總額對比分析

第三節(jié) 2019-2023年前道量檢測設(shè)備行業(yè)競爭格局分析

一、國內(nèi)主要前道量檢測設(shè)備企業(yè)動向

二、國內(nèi)前道量檢測設(shè)備企業(yè)擬在建項目分析

三、我國前道量檢測設(shè)備市場集中度分析

第四節(jié) 前道量檢測設(shè)備企業(yè)競爭策略分析

一、提高前道量檢測設(shè)備企業(yè)競爭力的策略

二、影響前道量檢測設(shè)備企業(yè)核心競爭力的因素及提升途徑

第十二章普華有策對行業(yè)重點企業(yè)發(fā)展形勢分析

第一節(jié) 企業(yè)五

一、企業(yè)概況及前道量檢測設(shè)備產(chǎn)品介紹

二、企業(yè)核心競爭力分析

三、企業(yè)主要利潤指標(biāo)分析