半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)又稱半導(dǎo)體自動(dòng)化測(cè)試系統(tǒng),與半導(dǎo)體測(cè)試機(jī)同義。兩者由于翻譯的原因,以往將 Tester 翻譯為測(cè)試機(jī),諸多行業(yè)報(bào)告沿用這個(gè)說(shuō)法,但現(xiàn)在越來(lái)越多的企業(yè)將該等產(chǎn)品稱之為 ATE system,測(cè)試系統(tǒng)的說(shuō)法開(kāi)始流行,整體上無(wú)論是被稱為 Tester 還是 ATE system,皆為軟硬件一體。
目前通過(guò)多年的技術(shù)積累,國(guó)內(nèi)企業(yè)在模擬 IC 和功率半導(dǎo)體測(cè)試機(jī)領(lǐng)域國(guó)產(chǎn)化替代有了相當(dāng)?shù)倪M(jìn)步,但在技術(shù)難度最高的 SoC 與存儲(chǔ)類芯片測(cè)試領(lǐng)域還需要更多的突破。
根據(jù)半導(dǎo)體工藝流程,激光打標(biāo)設(shè)備分為前道晶圓生產(chǎn)環(huán)節(jié)和后道封測(cè)環(huán)節(jié)。其中,前道激光打標(biāo)設(shè)備通常與切割或視覺(jué)檢測(cè)系統(tǒng)及其他機(jī)械自動(dòng)化模塊集成為激光一體化設(shè)備,設(shè)備價(jià)值比較高,技術(shù)難度大,目前主要以進(jìn)口設(shè)備為主。對(duì)于后道封測(cè)環(huán)節(jié)的激光打標(biāo)設(shè)備,國(guó)內(nèi)企業(yè)經(jīng)過(guò)多年的技術(shù)創(chuàng)新和應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)積累,目前技術(shù)比較成熟,國(guó)產(chǎn)激光打標(biāo)設(shè)備占比超過(guò) 50%,但在全自動(dòng)激光打標(biāo)應(yīng)用領(lǐng)域,由于技術(shù)門(mén)檻較高和應(yīng)用推廣不足,該領(lǐng)域還是以德國(guó) ROFIN、韓國(guó) EO 等進(jìn)口設(shè)備為主。
一方面,客戶要求測(cè)試設(shè)備對(duì)芯片的狀態(tài)、參數(shù)監(jiān)控、生產(chǎn)質(zhì)量等數(shù)據(jù)進(jìn)行大數(shù)據(jù)分析,另一方面,隨著測(cè)試功能模塊的增多,整套測(cè)試系統(tǒng)的各個(gè)測(cè)試模塊測(cè)試的數(shù)據(jù)須進(jìn)行嚴(yán)格對(duì)應(yīng)合并,保證最終收取的數(shù)據(jù)與半導(dǎo)體元芯片嚴(yán)格一一對(duì)應(yīng),并以最終合并的數(shù)據(jù)進(jìn)行分析對(duì)被測(cè)的芯片進(jìn)行綜合分檔分級(jí)。如:汽車電子要求測(cè)試系統(tǒng)須滿足靜態(tài) PAT,動(dòng)態(tài) PAT 及離線 PAT 技術(shù)的要求,即通過(guò)對(duì)測(cè)試器件關(guān)鍵參數(shù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)計(jì)算得到該批次器件性能的分布,然后自動(dòng)地提高測(cè)試的標(biāo)準(zhǔn),保證測(cè)試通過(guò)的器件的一致性和穩(wěn)定性。