根據(jù)測試環(huán)節(jié)的不同,電性測試又可以分為 WAT 測試、CP 測試及 FT 測試,其中WAT 測試屬于電學(xué)性能測試,其測試精度較高,測試結(jié)果能夠體現(xiàn)被測樣本的電學(xué)性能表現(xiàn);而 CP 測試與 FT 測試又通常為功能測試,測試結(jié)果一般僅能體現(xiàn)被測樣本的功能是否完整,而無法具體得知被測樣本的電學(xué)性能表現(xiàn)。相較而言,WAT 測試設(shè)備的技術(shù)含量、單體價(jià)值量等均高于用于功能測試的測試設(shè)備。上述集成電路測試流程及其所處的制造環(huán)節(jié)如下:
全球半導(dǎo)體測試機(jī)市場呈現(xiàn)高集中度的特點(diǎn),市場占有率最高的美國泰瑞達(dá)、日本愛德萬占據(jù)了約半數(shù)的市場份額,而在 WAT 電性測試設(shè)備領(lǐng)域,美國 Keysight 也基本處于市場壟斷地位。在國內(nèi)市場,少數(shù)國產(chǎn)測試設(shè)備廠商已進(jìn)入國內(nèi)外封測龍頭企業(yè)的供應(yīng)商體系,正通過不斷的技術(shù)創(chuàng)新逐漸實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代。
根據(jù)測試類型的不同,集成電路測試主要可以分為物理測試與電性測試;根據(jù)測試階段的不同,電性測試主要可以分為 WAT 測試、CP測試及 FT 測試,其中 WAT 階段的電性測試精度較高,能夠測試被測樣本的電學(xué)性能表現(xiàn),而 CP 及 FT 環(huán)節(jié)中的電性測試則通常為功能測試,對測試精度要求較低,僅能測出被測樣本的功能是否有效而無法測出被測樣本的電學(xué)性能表現(xiàn)。
3、集成電路測試設(shè)備發(fā)展趨勢
(1)隨著工藝節(jié)點(diǎn)的演進(jìn),WAT 測試的重要性突顯
隨著先進(jìn)工藝節(jié)點(diǎn)的演進(jìn),集成電路的制造工藝也愈加復(fù)雜,由于在集成電路制造工序較多,每一工序下的工藝都對最終產(chǎn)品的成品率均有所影響,因此晶圓廠對于先進(jìn)制程下每一步工序的成品率提升有著迫切需求。制造程序的增加,工藝改進(jìn)也提出了更高的要求,因此對晶圓制造過程的監(jiān)控也變得更為重要,通過 WAT 測試,晶圓廠的工藝工程師能夠更好的定位工藝產(chǎn)生問題的環(huán)節(jié),從而精準(zhǔn)的改善具體工藝,實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品成品率的提升。