晶圓檢測(cè)環(huán)節(jié):晶圓檢測(cè)是指在晶圓完成后進(jìn)行封裝前,通過(guò)探針臺(tái)和測(cè)試機(jī)的配合使用,對(duì)晶圓上的裸芯片進(jìn)行功能和電參數(shù)測(cè)試。探針臺(tái)將晶圓逐片自動(dòng)傳送至測(cè)試位置,芯片的 Pad 點(diǎn)通過(guò)探針、專用連接線與測(cè)試機(jī)的功能模塊進(jìn)行連接,測(cè)試機(jī)對(duì)芯片施加輸入信號(hào)并采集輸出信號(hào),判斷芯片功能和性能在不同工作條件下是否達(dá)到設(shè)計(jì)規(guī)范要求。測(cè)試結(jié)果通過(guò)通信接口傳送給探針臺(tái),探針臺(tái)據(jù)此對(duì)芯片進(jìn)行打點(diǎn)標(biāo)記,形成晶圓的 Map 圖。該環(huán)節(jié)的目的是確保在芯片封裝前,盡可能地把無(wú)效芯片篩選出來(lái)以節(jié)約封裝費(fèi)用。
半導(dǎo)體測(cè)試機(jī)又稱半導(dǎo)體自動(dòng)化測(cè)試機(jī),與半導(dǎo)體自動(dòng)化測(cè)試系統(tǒng)同義。兩者由于翻譯的原因,以往將 Tester 翻譯為測(cè)試機(jī),諸多行業(yè)報(bào)告沿用這個(gè)說(shuō)法,但現(xiàn)在越來(lái)越多的企業(yè)將該等產(chǎn)品稱之為 ATE system,測(cè)試系統(tǒng)的說(shuō)法開始流行,整體上無(wú)論是被稱為 Tester 還是 ATE system,皆為軟硬件一體。半導(dǎo)體測(cè)試機(jī)測(cè)試半導(dǎo)體器件的電路功能、電性能參數(shù),具體涵蓋直流參數(shù)(電壓、電流)、交流參數(shù)(時(shí)間、占空比、總諧波失真、頻率等)、功能測(cè)試等。集成電路測(cè)試貫穿了集成電路設(shè)計(jì)、生產(chǎn)過(guò)程的核心環(huán)節(jié),具體如下:
第二、生產(chǎn)流程包括晶圓制造和封裝測(cè)試,在這兩個(gè)環(huán)節(jié)中可能由于設(shè)計(jì)不完善、制造工藝偏差、晶圓質(zhì)量、環(huán)境污染等因素,造成集成電路功能失效、性能降低等缺陷,因此,分別需要完成晶圓檢測(cè)(CP, Circuit Probing)和成品測(cè)試(FT, Final Test),通過(guò)分析測(cè)試數(shù)據(jù),能夠確定具體失效原因,并改進(jìn)設(shè)計(jì)及生產(chǎn)、封測(cè)工藝,以提高良率及產(chǎn)品質(zhì)量。無(wú)論哪個(gè)環(huán)節(jié),要測(cè)試芯片的各項(xiàng)功能指標(biāo)均須完成兩個(gè)步驟:一是將芯片的引腳與測(cè)試機(jī)的功能模塊連接起來(lái),二是通過(guò)測(cè)試機(jī)對(duì)芯片施加輸入信號(hào),并檢測(cè)輸出信號(hào),判斷芯片功能和性能是否達(dá)到設(shè)計(jì)要求。